Speċifikazzjoni | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (binarju li jġorr l-arja) |
Tip ta' Mutur | Mutur mingħajr ħadid bi tliet fażijiet | Mutur tal-coil tal-vuċi+ |
Riżoluzzjoni | Kwantità diġitali default 100nm | 1vpp sa 5nm |
Spinta tal-mutur | Kontinwu 60N/peak 210N | Kontinwu 60N/peak 210N |
Daqs minimu tal-pass[nm] | 200nm | 100nm |
Vjaġġar [mm] | 200×200 | 10 |
Ripetibbiltà [um] | ±0.3 | |
Preċiżjoni tal-Pożizzjoni [um] | ±1 | ±0.5 |
Flatness [um] | 10um | 5um |
drittità [um] | 1um | 1um |
Veloċità massima [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Kapaċità tat-Tagħbija [kg] | 5kg (assi Z b'piż ta 'bilanċ ta' forza kostanti pnewmatiku) |